通気性を有し、気孔率が高い
NEWSICを開発 AIRSIC

【SiC質】AIRSIC

AIRSICは通気性を有するSi-SiC質の超軽量セッターです。 電子工業で要求度の高い省エネ、焼成時間の短縮に貢献できる特性を有しています。気孔径の異なるAIRSIC同士の接着、コートも可能なため、各種要求に対応することができます。

AIRSIC

製品の特徴

通気性を有し、軽量なSi含浸SiC焼結体。(三次元網目構造)

気孔率が高く、気孔径が均一。(気孔径は選択可能)

異形状、特注形状に対応可能。(三次元網目構造)

接着、積層が可能。(気孔率の異なる層、緻密層との複層構造など)

コート施工が可能。(耐反応性コートなど)

製品特性

通常タイプ 高強度タイプ
物性 気孔率(%) 90 85
カサ密度(g/cm3) 0.2 0.4
曲げ強度(MPa) 0.1 5.0
化学成分
(mass %)
SiC 58
Si 42

※上記は代表値であり、規格値および保証値ではありません。

製品事例